山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,手动单工位喷淋清洗机哪家好,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
喷淋注满水时间和排水时间,对晶圆清洗质量有很大影响。 因晶圆表面暴露在空气中会接触空气中的氧分子或水汽,在常温下,全自动单工位喷淋清洗机哪家好,即会生长一层很薄的氧化层(约为 0.5~1 nm),这层自然氧化物的厚度与暴露在空气中的时间长短有关, 因此,喷淋注满水时间越长,晶圆暴露在空气中的时间就会越长,因而形成的氧化层也越厚,这对晶圆清洗,是很不利的。 QDR 排水的时间越短,排水流速就会越大, 有利于去离子水带走晶圆表面上的微粒杂质。因此,在 QDR 设计中,要尽可能的缩短喷淋注满水时间和排水时间,实现快冲排,攀枝花单工位喷淋清洗机哪家好,整体效率也会得到提高。
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上喷淋同时, 下喷淋管路由底部两侧不断进水,而后由内槽上沿四周溢出,这样,每个晶圆片缝、各处边角的去离子水都能连续得到更新。 同时,纯净氮气由下喷淋管路进入槽体。 氮气鼓泡有以下几个作用:(1)增加了去离子水的冲刷力,对槽体本身有很好的自清洗作用;(2)晶圆在水流中颤动,气泡不能沾附其上,提高了冲洗效果;(3)减少去离子水中的含氧量,避免在晶圆表面生成氧化物。
山东亚世特工业清洗设备有限公司是一家专业从事超声波清洗机、通过式喷淋清洗机、高压喷淋清洗机、碳氢、气相清洗机等工业清洗设备的设计、制造及销售的高新技术企业。主要产品有单槽及多槽超声波清洗机,全(半)自动超声波清洗流水线,全(半)自动高压喷淋清洗流水线,全(半)自动超声喷淋流水线,碳氢清洗机,气相清洗机,真空干燥清洗机等工业清洗设备,并提供免费的专业咨询和设计服务。
设备形式: 室内放置型。
控制模式: 手动控制模式 自动控制模式。
适用于硅芯横梁及基座料腐蚀清洗干燥:
硅芯:(2000—2500) mm x(∮7-10) mm圆形硅芯; 横梁:(300-500)mmx(∮7-10) mm;基座料:(250-350)mmx(∮40-50) mm;
硅棒:(2000—2500) mm x(∮120-150) mm圆形硅棒
产能:硅芯24条(11KG)/篮/批 硅棒1条(100KG)/篮/批;
工艺流程:设备走向统一采用‘前进后出’方式;操作时由操作人员上料工位准备区人工上料→经腐蚀+喷淋排→溢流→超声→切水干燥等工艺处理合格后经操作人员下料工位准备区人工下料;
机械手单独急停开关、系统急停开关和机械手电机自动过载保护等多重保护,确保操作者的安全。
机台总体结构暂定为机械运行机构装置与机台上方,可拆卸及便于维修与保养。
外形尺寸、生产能力等根据客户具体要求确定。
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